（中央社記者張建中新竹31日電）美商英特格(Entegris)擴大在台灣投資，將投資600萬美元，約新台幣1.8億元，因應先進製程及關鍵半導體製程在產量、可靠度與性能方面的需求。

英特格指出，這次擴大台灣投資，除將擴建新竹廠房，提升化學機械研磨(CMP)過濾器用的奈米熔噴濾芯產能，並導入高靈敏度晶圓檢測系統及塗布機等。

隨著高靈敏度晶圓檢測系統導入，英特格在台灣的晶圓檢測能力將可擴及19奈米，將有利新產品開發，及改善產品性能。

英特格表示，台灣技術研發中心自2006年成立，過去28年來不斷擴大在台灣的業務，這次擴大在台灣投資，主要希望強化在地開發能力，滿足客戶先進及關鍵製程可靠度與性能的需求。

除新竹廠外，英特格也於桃園楊梅及新竹湖口設廠，提供包括CMP及先進微污染控制過濾器和高密度聚乙烯統等多元產品，與泵浦維修、靜電吸盤鍍膜及晶圓清潔等服務。（編輯：楊凱翔）1070831


關鍵字標籤：...